東芝が復活を賭ける｢地味な稼ぎ頭｣の正体 メモリ事業分離後に残った｢最後の半導体｣

5月末に加賀東芝を訪れると、旗艦工場である第2製造棟で、車載向けを主力にしている直径200ミリ（8インチ）ウエハの半導体製造装置がフル稼働中だった。シリコンウエハー表面に酸化膜を作り、フォトマスク上のパターンを露光によって焼き付けていく前工程で、微細な埃やゴミ混入が一切許されないため、すべてクリーンルーム内で行われている。

パワー半導体は車載向け中心に活況（写真：東芝デバイス＆ストレージ）

このクリーンルームは奥行き126メートル、幅72メートルほどのサッカー場並みの広さがあり、その中を全身白衣をまとった作業員が忙しく動き回っている。その種類は5000品種以上にも及ぶが、現在は最新のRFID（無線自動識別）タグなどで自動的に製品情報を読み込んでおり、ベテランでなくても人為的ミスが起こりにくい仕組みが構築できているという。