また、膜のトリートメント装置では世界シェア2位を誇る。トリートメントとは、成膜後にプラズマや加熱により膜の改善を行う作業のこと。膜から不純物を取り出したり、粒子を安定させ強固にしたりする。同社の装置は複雑な構造のデバイスでもムラなく、均一にトリートメントができる。
KOKUSAIのルーツは、1949年に電気通信機器および高周波応用機器の製造販売を目的に設立された国際電気だ。同社は1956年に「ゲルマニウム・シリコン単結晶引上装置」を受注し半導体製造装置事業に舵を切った。
2000年に国際電気・日立電子・八木アンテナが合併し、日立製作所傘下の日立国際電気が誕生した。
日立グループの一員として半導体製造装置事業を展開したが、親会社である日立製作所は社会インフラ事業に傾注する一方で、事業ポートフォリオの見直しを実施。日立製作所は日立国際電気の全株式を米国投資ファンド・KKRへ売却した。
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