昨年来悪化していた半導体市況は早くも底打ちした。今世界規模で起きているのが、官民入り乱れた半導体工場の投資合戦だ。『週刊東洋経済』の10月2日発売号(10月7日号)の特集は「半導体 止まらぬ熱狂」。熱狂する半導体業界を取材した。日本でも、この局面を最大のチャンスと捉え、矢継ぎ早に戦略が打ち出されている。戦略物資と化した半導体の今に迫った。
──最先端半導体の製造に欠かせないEUV(極端紫外線)向けのマスク検査装置で市場を独占しています。
EUV露光装置はオランダのASMLが長年開発してきたが性能がなかなか業界のニーズに合うところまで改善せず、量産用途で使えるのか、業界では半信半疑だった。本当に賭けのようなものだったが、それまで国内外の関連企業が参加しNEDOがサポートしていた研究開発コンソーシアムでの技術開発も生き、製品化につなげられた。
──将来的に競合が出てくる可能性はありますか。
競合はまだ実際の製品を出せていない。われわれはすでに装置を納入してフィードバックを受け、改善を続けている。より検査感度の高い次世代機も開発中だ。この数年の差は大きい。
AI用半導体が需要の押し上げに
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