ランキング1位は東京エレクトロンで、12971.0（百万円/1000t-CO2、以下同）。3期平均の連結営業利益5577億円に対してGHG排出量4.3万t-CO2で計算した。もし排出量1トン当たり1万円の炭素税やカーボンクレジット購入が必要となった場合、1000t-CO2で1000万円（＝10百万円）となる。ROCは1000t-CO2当たり12971.0百万円なので、「12971.0百万円の利益に対して、最大でも10百万円の負担なので、影響は軽微」といった見方ができる。
同社は22年度にすべての国内製造拠点で再生可能エネルギーの導入を完了。全社の再生可能エネルギー使用比率は90％まで上がっている。GHG排出量は20年度比で約4分の1まで削減。製品のCO2排出量は代表機種で30年度に18年度比で55％削減（ウェハー当たり）を目指し、バリューチェーン全体での削減を考え取り組みを進めている。
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