中国半導体の父が明かす｢EUV国産化まであと5年｣→アメリカの制裁があっても進化は止まらない｢微細化の独自技術｣｢ニコンとキヤノンの役割｣

日本製の露光装置は非常に性能が良く、かつ価格もオランダのASMLなどに比べてはるかに合理的。コストパフォーマンスという点で卓越しているのです。

パワー半導体に必要なプロセス技術は最先端ではなく成熟した技術ですから、アメリカによる輸出規制も厳しくありません。ですからGTAはニコンやキヤノンの装置を問題なく購入し、ラインを稼働させられています。

「7ナノ突破」へ2つの要素

――先端プロセス技術に必要な半導体製造装置には、アメリカの対中輸出規制がかかっています。にもかかわらず中国で7ナノメートルの半導体が量産されている。なぜこれが可能なのですか。