半導体工場から相次いで検出されるPFAS、有害性が議論される中で必要な冷静な向き合い方

予防的に規制の取り組みが進むPFASについては世界で研究が続けられている（写真：Ed Kashi／The New York Times）

PFAS（ピーファス）という言葉が一般的に知られるようになってきた。PFASは有機フッ素化合物（per- and polyfluoroalkyl substances）の頭文字をとったものだ。

日本語では「ペルフルオロアルキル化合物およびポリフルオロアルキル化合物」と訳される。地下水や水道水からPFASが検出されたなどのニュースがたびたび出て、その有害性が注目されるようになり、知る人も増えてきたようだ。

PFASが知られてきたとともに、半導体の製造でPFASによる汚染が広がっているとの見方も出ている。そこでPFASの何が問題で、半導体製造にどのように関係しているのかを半導体業界団体のSEMIジャパンの「化学物質PFASの規制に業界・企業はいかに対応すべきか ーSEMIビジネスアップデートレポートー | SEMI」や環境省の資料を基に解説したい。

そもそもPFASとは何か？

一般的にPFASと総称されているが、その種類は1万種以上あるとされる。PFASとされるもののうち、アメリカ化学会の化学物質を識別するCAS登録番号（CAS RN®）が付いたものは4730種類に上る。図1は環境省が出しているPFASの簡易的な分類図だ。