ラピダスは北海道でどれだけ電力を消費するのか 電力消費の減少予想が一転して増加する傾向に

図1は北海道需要電力量の推移である。北海道は1次／3次産業がメインであり、TSMC進出で沸く九州・熊本や自動車産業が発展している中部地方などと異なり、2012年以降電力需要は減少する一方であった。

図1 北海道需要電力量（使用端）実績と今後の予測（電力広域的運営推進機関の資料を元に筆者作成）

そこでデータセンターやラピダスを誘致することで北海道発展の起爆剤に据えたと想像している。図1に示されているように新たな電力需要が見込めることで北海道電力株式会社（含む北海道電力ネットワーク株式会社）は新たな電源や送電線網の開発投資に踏み出せるようになっただろう。もちろん泊原子力発電の再稼働も重要な課題でもある。

半導体工場と電気は切っても切れない関係

半導体工場と電気は需要側と供給側として密接な関係がある。半導体工場では実に多くの電気を消費する。最新の半導体工場は機密も多いため、公開されている2001年の富士通の少し古い資料から電力消費の内訳を図2で示す。

図2 半導体工場の電力消費内訳（『FUJITSU』 2001年5月号より）

半導体工場は年間を通じてクリーンルーム内を一定の温湿度に制御し、クリーン環境を維持するために多くの電気を使用している。この空調費を削減するために工場全体をクリーン化するボールルーム構造からFOUP（フープ）と呼ばれる密閉容器を使用したミニエンバイロメント構造とするなど多くの工夫がなされた結果、電気使用量は大きく削減されてきた。

しかし、半導体デバイス構造の微細化が進むことにより大量の電気を必要とするEUV露光装置が多く使用されることになった。例えばオランダASML社のNXE:3600Dは1台だけで1.3MWの消費電力である。

一般的に家庭で使用されるオーブンレンジの消費電力は1kW相当である。つまり、1台のEUV露光機は1300台のオーブンレンジを同時に使用している計算だ。しかも24時間連続で使用することになる。EUV露光機は従来の液浸ArF露光装置NXT:2100iの消費電力0.15MWに対し8倍強の電気食いだ。