「再生ウエハって、何ですか?」
2015年3月に東証マザーズに上場したRSテクノロジーズの方永義社長が、投資家から投げかけられる質問で最も多いのが、同社のシリコンウエハ再生事業そのものへの問いだ。
半導体製造には、数百を超える工程がある。不良品の発生を防いだり、出来栄えを評価したりするために、各工程で投入されるのがモニタリング用ウエハだ。
モニタウエハは途中で抜き取られるため、表面加工はされるもののカットされずに元の姿の円盤状で残る。数回使うと使えなくなるが、洗浄などの再生加工を施すことによって10回から20回程度、再利用ができるようになる。これがシリコンウエハの「再生」だ。
新品のウエハをモニタリングに使うより、コストダウンを図れるのが最大の特長。半導体メーカーから使用したモニタウエハを預かり、再生加工して返却する仕組みで、加工賃が売り上げになる。再生ウエハはシリコンウエハ全使用量に対して2割強の需要がある、とみられている。
もともとは中堅化学メーカー、ラサ工業の主力事業の一つだった。リーマンショックの影響により撤退するところを、中国・福建省出身の方社長がRSテクノロジーズを設立して買い取った。
国内と台湾に大型投資
15年12月期は国内工場の再編・増設、台湾工場の新設など総額77億円に上る大掛かりな設備投資を実施。業績は新工場立ち上げの費用や減価償却の発生などによって増収減益を見込んでいる。
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