藤村 修三

東京工業大学大学院イノベーションマネジメント研究科教授
1955年生まれ。1978年千葉大学理学部物理学科卒。1993年千葉大学大学院自然科学研究科博士（工学）。1978~1998年富士通株式会社、株式会社富士通研究所勤務。半導体プロセスの研究・開発に従事。その間、千葉大学、武蔵工業大学非常勤講師。1998年米カリフォルニア州にてJLM Technologies設立に参加。
1999年ANNEAL Corp. （JLM Technologiesを改称) CTO. 2002~2008年一橋大学イノベーション研究センター寄付研究部門客員教授。2005年4月より現職。
1997年科学技術庁注目発明（半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法）、2001年第１回日経BP BizTech 図書賞（『半導体立国ふたたび』日刊工業新聞社）、2010年東工大教育賞受賞。